2026-04-26
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1991-10-02
日本、其他、大阪
大阪大学
教育/研究
爆炸
1991年10月2日下午4点左右，在大阪大学工程科学学院内，一名学生关闭了气相沉积系统(图1中DV1阀门)。这一操作导致供应给该系统的气体在硅烷容器内突然发生爆炸。硅烷容器随即破裂，爆炸的冲击力致使包括实验设备和人员在内的所有物体被震至墙边。爆炸及由此产生的飞溅碎片造成两名学生死亡，另有五人受伤。此外，爆炸还引燃了城市燃气及有机氯溶剂，引发了火灾。
死亡人数： 2人、受伤人数： 5人、 疏散人数： 0人
经济损失： 0万
设备/设施故障
在硅烷容器中发生爆炸的是硅烷(SH4)与一氧化二氮(N2O)的混合物。 单向阀内的O型圈在一氧化二氮的作用下降解，导致失去止回阀的功能。因此，N2O经过吹扫管线逆流到硅烷容器中。当学生在关闭DV1阀门时，管道内的混合气体被压缩，发热并被点燃。
设备完好性（机械完整性和质量保证 MIQA）
逆流
气相爆炸(E)
硅烷，一氧化二氮（N2O）
工艺容器
实验室研究
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